中微半导体已提交IPO辅导备案
上证报讯（记者 李兴彩）记者从证监会网站获悉，中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“中微半导体”）已于11日向上海监管局提交IPO辅导备案，公司拟向上交所申报，辅导机构为海通证券、长江证券。
辅导备案情况报告公示，中微半导体成立于2004年5月，法定代表人尹志尧。截至申请提交日，公司无实际控制人，持股5%以上股东包括上海创投、巽鑫投资、南昌智微、置都投资、中微亚洲。
中微半导体主要从事半导体设备的制造、销售业务，公司在等离子刻蚀机、MOCVD（金属有机化合物化学气相沉淀）等方面打破了国外的垄断，并进入到5nm工艺设备研发。
