晶瑞电材:公司KrF光刻胶产品争取今年批量供货

2022-07-29 22:31:45 来源:上海证券报·中国证券网 作者:

  上证报中国证券网讯 晶瑞电材7月29日在互动平台回答投资者提问时表示,公司KrF(248nm深紫外)光刻胶产品分辨率达到了0.25~0.13μm的技术要求,已通过部分重要客户测试,KrF光刻胶生产及测试线已经基本建成,设备正在安装调试中,争取今年批量供货。