北方华创：正式发布CCP介质刻蚀 完成刻蚀领域的最后一块拼图

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2022-08-15 14:09:30 来源：上海证券报·中国证券网 作者：

　　上证报中国证券网讯 据北方华创15日消息，正式发布CCP介质刻蚀机，目前已在5家客户完成验证并实现量产。作为CCP刻蚀机，具备在介质刻蚀上的高选择比、高刻蚀速率等优势，适用于介质类氧化硅、氮化硅、氮氧化硅等膜层材料。

　　据介绍，2005年8月，北方华创第一台ICP刻蚀机进入大生产线，目前已有上千台设备服务客户；2017年11月，北方华创推出第一台金属刻蚀机，目前已有上百台设备服务客户。

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