盛美上海单片SAPS兆声波清洗设备获得欧洲半导体制造商订单

　　上证报中国证券网讯（记者 李兴彩）盛美上海于2月25日在官方微信宣布，公司获得来自欧洲一家全球性半导体制造商的首个12腔单片SAPS兆声波清洗设备订单。该设备配置了公司自主研发的空间交变相位移 (SAPS)技术，预计将于第四季度交付至该客户的欧洲工厂。

　　盛美上海介绍，与传统的兆声波晶圆清洗系统中使用的固定式兆声波发生器不同，使用SAPS技术后，晶圆旋转时，通过控制兆声波发生器与晶圆之间的相对运动，即使晶圆有翘曲，也能使晶圆上的所有点都获得均匀的兆声波能量。SAPS工艺的清洗效率比传统兆声波清洗工艺高，不会造成额外的材料损耗，同时还能减少晶圆表面的损伤。SAPS工艺清洗效果更加彻底、全面，并且已在1xnm及以下DRAM制造上获得验证。

　　作为一家为半导体前道和先进晶圆级封装应用提供晶圆工艺解决方案的领先供应商，盛美上海从事单晶圆及槽式湿法清洗设备、电镀设备、无应力抛光设备、立式炉管设备、前道涂胶显影设备和PECVD设备的开发、制造和销售，并致力于为半导体制造商提供定制化、高性能、低消耗的工艺解决方案。

　　盛美上海表示，本次获得该设备的欧洲首单是对公司技术实力以及销售团队努力与付出的有力证明，并有望为公司带来该客户的重复订单以及与该地区其他重点客户新的合作机会。