晶盛机电：公司已掌握行业领先的8英寸碳化硅衬底技术和工艺

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2023-05-16 21:44:08 来源：上海证券报·中国证券网 作者：

　　上证报中国证券网讯 晶盛机电5月16日在互动平台回答投资者提问时表示，公司现采用物理气相传输法进行碳化硅晶体生长，公司已掌握行业领先的8英寸碳化硅衬底技术和工艺，并建设了6-8英寸碳化硅晶体生长、切片、抛光环节的研发实验线，通过持续加强技术创新和工艺积累，逐步实现大尺寸碳化硅晶体生长和加工技术的自主可控。

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