中微公司荣获上海市科技进步奖一等奖
上证报中国证券网讯（记者 李兴彩）中微公司6月2日在官方微信公布，2022年度上海市科学技术奖日前隆重揭晓，公司的“高精度介质等离子体刻蚀设备”项目荣获上海市科技进步奖一等奖。
中微公司介绍，公司的高精度甚高频去耦合反应等离子体刻蚀设备可大幅提高刻蚀均匀度，有效降低刻蚀工艺中金属污染物和微颗粒的产生，在刻蚀结果一致性、重复性等多方面达到国际先进水平，实现了我国高精度等离子体介质刻蚀设备的自主研制和在国际先进芯片生产线的大规模产业化应用。
中微公司董事长兼总经理尹志尧表示，此次获奖是中微公司第二次荣获此项殊荣，是对中微公司开发和提供的具有国际竞争力的微观加工高端设备的高度认可，也是对中微公司综合实力与创新能力的又一次肯定。未来，中微公司将持续践行和倡导“四个十大”的企业文化，努力实现技术进步并推动产业发展；秉承三维发展战略，不断推出有竞争力的高端设备产品，通过有机生长和外延扩展，实现高速、稳定、健康和安全的发展。
