晶圆厂扩产不止步 半导体设备上半年跑出“芯动能”

郭晨凯 制图

　　7月17日，国家统计局新闻发言人付凌晖在国新办新闻发布会上介绍，新动能发展壮大，半导体相关行业制造业增长比较快。上半年，半导体器件专用设备制造业、电子元器件及机电组建设备制造增加值同比分别增长30.9%和46.5%。

　　上海证券报记者从半导体业内了解到，在消费电子需求相对低迷的情况下，电动汽车、风光储、人工智能（AI）等新需求成为半导体产业成长的新动能。尤其在全球贸易格局改变、中国半导体产业快速发展、晶圆厂扩产不停步等因素影响下，本土半导体设备行业维持了较高景气度，成熟制程设备的销售更加旺盛。

　　展望后市，业内人士表示，AI需求带动存储价格止跌，随着全球经济复苏，消费电子需求正在慢慢恢复，预计整个半导体产业有望在下半年迎来明显复苏。更值得关注的是，电动汽车、5G、AI、高性能计算、风光储等需求旺盛，已经接力成为半导体产业成长的澎湃“芯动能”。

　　设备增速“一骑绝尘”

　　今年上半年，半导体器件专用设备制造业增加值增长30.9%。行业的良好发展势头，也在本土半导体设备“双雄”北方华创、中微公司的上半年业绩预告中充分体现。

　　中微公司披露，公司预计上半年实现营业收入约25.27亿元，同比增长约28.13%；实现归属于母公司所有者的净利润9.8亿元至10.3亿元，同比增长109.49%至120.18%。

　　北方华创预计，公司上半年实现营业收入78.2亿元至89.5亿元，同比增长43.65%至64.41%；归属于母公司所有者的净利润为16.7亿元至19.3亿元，同比增长121.30%至155.76%，延续了高增长态势。

　　出货量增加是半导体设备“双雄”业绩增长的主因。北方华创表示，公司上半年业绩增长主要受益于半导体设备业务的市场占有率稳步提升及经营效率不断提高。中微公司表示，业绩增长原因之一是刻蚀设备持续获得更多国内外客户的认可，关键客户市场占有率不断提高；公司的MOCVD设备收入增长约24.11%，达2.99亿元；备品备件及服务收入增长约17.13%，达5.05亿元。

　　“在中国半导体产业快速发展、晶圆厂的扩产不停步等因素影响下，本土半导体设备行业维持了较高景气度，成熟制程设备的销售更加旺盛。”对于半导体设备产业的快速发展，业内人士解读称，晶圆厂大厂还在扩产，更多中小产线、成熟制程产线建设给成熟设备带来了新增订单，本土半导体设备景气度远高于全球产业。

　　上市公司订单也反映出成熟设备的旺盛需求。比如，上半年，万业企业旗下嘉芯迦能（嘉芯半导体的子公司）的掺杂硼磷二氧化硅薄膜化学沉积设备（SACVD）以及钛/氮化钛沉积设备（MOCVD）成功中标某公司特色工艺生产线建设招标项目。

　　后续发展劲头十足

　　需要指出的是，受国际贸易格局等因素影响，2022年下半年本土晶圆厂扩产节奏有所放缓。但今年一季度起，本土晶圆厂重回扩产轨道，部分节奏放缓的项目也再度重启，并反映到部分设备公司的订单中。

　　至纯科技在近期接受机构调研时表示，其一季度所接订单同比有所下降，但部分客户项目已于一季度重启，订单有望在今年第二、第三季度落地。至纯科技预计，今年将新增订单52亿元至57亿元，其中制程设备为20亿元至25亿元。

　　近期，中芯集成、华虹半导体等均披露了扩产项目，中芯国际、晶合集成等公司的扩产项目陆续落地。在近期举行的2023中国国际半导体展览会上，国际半导体产业协会（SEMI）预计，到2026年，全球将有96座新的晶圆厂，其中76座为12英寸晶圆厂，其余20座为8英寸晶圆厂。从分布来看，新建晶圆厂趋势仍向亚太地区倾斜，65座晶圆厂将位于亚太地区，其中26座在中国。

　　对此，上述半导体业内人士表示，当前全球贸易格局下，晶圆厂重回扩产轨道，采用本土设备的意愿将为本土设备公司带来更多的市场需求和业绩增长。

　　更重要的是，随着半导体技术和新材料的发展以及终端需求增长，以碳化硅、氮化镓等为代表的宽禁带半导体新增需求旺盛，天岳先进、三安光电、天科合达、东尼电子等公司纷纷加快扩产碳化硅衬底片，也给半导体设备商带来了新机遇。

　　“当前我们最关注的赛道就是半导体设备，其中又尤其关注碳化硅用设备。”某专注半导体领域投资的私募人士表示，由于晶格错位等因素，碳化硅外延片在出货前，必须对缺陷、元素浓度（掺杂）等“每片必检”，衬底片的位错微管缺陷则需要抽检。

　　记者还注意到，近期专注于碳化硅外延炉业务的芯三代半导体科技（苏州）有限公司、专注于前道量测设备的优睿谱等初创半导体公司，均完成新一轮融资。优睿谱、中晟光电等半导体设备公司也完成了多款宽禁带半导体用设备的量产出货。

　　新需求释放新动能

　　“今年以来，下沉市场的需求非常旺盛。”谈及市场需求，深圳慧能泰半导体科技有限公司（下称“慧能泰”）的一位副总裁告诉记者，公司原来专注于高性能数模混合芯片研发，今年上半年，公司通过降本增效、强化现场客户服务等措施，在下沉市场进一步拓展了中高端产品的规模，在整体市场降温的情况下维持了同比50%、环比30%的营收增长。

　　上半年，电子元器件及机电组建设备制造增加值同比增长46.5%，这也反映出消费电子需求在持续恢复。业内人士分析称，去年下半年以来，消费电子市场整体表现低迷，但低迷之中也不乏亮点，抓住机遇的公司就实现了业务增长。中科蓝汛就是其中之一，公司近期披露，今年以来公司出货量基本保持在正常水平，目前出货稳定。一季度，中科蓝汛芯片出货量（颗数）同比增长53.77%。

　　“PC和手机端的库存接近底部，需求正在缓慢回升。更值得关注的是，电动汽车、5G、AI、高性能计算、风光储等需求旺盛，已经接力成为半导体产业成长的澎湃动能。”上述慧能泰高管表示，公司对消费和工控市场都寄予厚望，并在5G基站、高性能计算等新兴的工控领域持续加大投入。

　　领益智造、飞荣达、旭光电子、依顿电子等上市公司的业绩预告印证了良好的经营态势。

　　比如，领益智造预计上半年实现归属于上市公司股东的净利润10亿元至13亿元，同比增长107.75%至170.07%，业绩增长主因是公司通过不断拓展与海内外知名汽车、动力电池等领域头部客户及国际领先的清洁能源领域客户的业务合作，在汽车及光伏储能业务方面持续布局、扩大产能，实现较快增长。

　　飞荣达表示，业绩增长的原因有：一是笔记本业务有所增长；二是新能源汽车定点项目逐步量产、光伏逆变器和储能业务快速提升；三是液冷等技术被多家重要客户认可，提升通信业务盈利能力。