专注晶圆厂AMHS 弥费科技启用临港生产基地暨全球研发中心

2023-12-26 20:34:36 来源:上海证券报·中国证券网 作者:李兴彩
  上证报中国证券网讯(记者 李兴彩)12月26日,弥费科技(上海)股份有限公司(简称“弥费科技”)在上海临港新片区举办了“弥费科技临港生产基地暨全球研发中心启用仪式”活动。

  作为国内领先的晶圆厂AMHS(自动物料搬送系统 )设备整体解决方案供应商,弥费科技完成了晶圆厂AMHS系统级整厂订单交付与验收,实现了从AMHS产品供应商向AMHS系统级供应商的演进,已成为国内首家具备整厂级AMHS解决方案、量产能力、项目实施经验和交付案例的本土供应商,填补了该领域的空白。

  晶圆厂自动物料搬运系统AMHS可实现晶圆制造过程中的高效自动化,有效提高晶圆厂生产线运行效率和稳定性,降低人工成本和错误率,为晶圆厂降本增效、扩大竞争优势提供助力,是能够直接影响晶圆厂中物料运转产能绩效的核心系统之一。

  弥费科技专注于AMHS的研发、生产与制造,弥费科技临港工厂作为弥费AMHS项目研发和生产总基地,占地面积约8000㎡,其中建设了2000㎡以天车为核心的洁净室AMHS整体解决方案标准化示范线。成立近十年,弥费科技拥有从硬件到软件、售前方案到项目实施的完备团队,核心成员均为来自国内外知名晶圆厂的资深从业者,历经多年的持续研发推出了天车核心传输设备、协作式机器人、晶圆存储设备、光罩存储设备、缓冲存储设备、上下料口净化设备等十余种AMHS设备和软件调度系统。

  目前,弥费科技AMHS软硬件产品已累计交付超过30家国内外晶圆厂客户,积累了丰富的技术和项目经验,其自研的AMHS核心传送设备天车OHT、存储设备Stocker都已完成多个版本的技术迭代。此外,在软件调度系统方面,公司成立了X-Lab实验室,基于领先算法持续提升系统效能。

  在分享和交流环节中, 弥费科技董事长、CEO缪峰表示,弥费科技一路走来不断开拓壮大,临港工厂作为弥费科技AMHS进入大批量量产阶段重要的生产基地,新工厂交付能力较之前提升了4倍,可有效满足客户需求。未来,弥费科技还将进一步实现8英寸和12英寸大型半导体晶圆厂AMHS的整厂量产交付,并进军国际市场。