公司简介

  华海清科股份有限公司是一家拥有核心自主知识产权的高端半导体设备制造商,主要从事半导体专用设备的研发、生产、销售及技术服务,主要产品为化学机械抛光(CMP)设备。公司自2013年成立以来始终坚持核心技术自主研发,核心研发团队承接自清华大学摩擦学国家重点实验室,先后承担了国家02重大专项等多项国家级重大研发项目,在化学机械抛光设备核心关键技术层面取得了有效突破和系统布局,推出了国内首台12英寸CMP设备并实现量产销售,是目前国内唯一一家为集成电路制造商提供12英寸CMP商业机型的高端半导体设备制造商。公司产品已广泛应用于中芯国际、长江存储、华虹集团、英特尔等国内外先进集成电路制造商大生产线中,打破了国际巨头在此领域数十年的垄断。公司在逻辑芯片制造、3D NAND制造、DRAM制造等领域的工艺技术水平已分别突破至14nm、128层、1X/1Ynm,均为当前国内大生产线的最高水平。

  2020年,华海清科成功突破晶圆减薄面临的超平整、超薄化、超洁净、低损伤等极高技术挑战,研制出12英寸减薄抛光一体机,为公司打开了3D IC及先进封装等市场。以自有CMP设备和自主CMP技术为依托,公司打通了全程无污染、低缺陷、高平整度、高洁净度的晶圆再生工艺流程,为客户提供制程先进、良品率高、周转快的晶圆再生服务。公司已逐步形成了集成电路关键制造装备、耗材及技术服务、晶圆再生代工业务协同发展的产业布局。

  华海清科曾荣获“国家企业技术中心”、“国家制造业单项冠军示范企业”、“国家专精特新“小巨人”企业”、“中国机械工业科学技术奖(技术发明)特等奖”、“天津市科学技术奖(技术发明)一等奖”等多项奖励及荣誉。截至2021年末,公司拥有国内外授权专利209项,员工692人,其中研发人员达224人,占比32.37%。最近三年营业收入复合增长率为95.34%,三年累计研发投入占三年累计营业收入的比例为15.88%。

  未来,华海清科将继续以自主研发与产业化应用为关键突破口,立足国内、面向全球,提升在全球集成电路装备领域的市场份额和影响力,发展成为国际知名的集成电路高端装备及技术服务供应商。

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华海清科上市仪式现场

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